射频等离子体在高速材料高纵横比的刻蚀工艺研究陈磊1, 吴静2, 李志强3,  贝亮4 （1,3,4珠海恒格微电子装备有限公司, 广东，珠海519070；2电子科技大学，四川，成都610000） 摘要：近年5G通迅、 AI人工智能、军工航天、可穿戴设备等电子应用领域的迅速发展，正驱动工业对复杂的高性能电路板的需求，高输入/输出（I/O）和快速要求高密度的相互连接，导致了高密度的多层板结构，从1...