ABOUT US
电子薄膜与集成器件国家重点实验室
基本概况
电子薄膜与集成器件国家重点实验室是以原教育部新型传感器重点实验室、信息产业部电子信息材料及应用重点实验室和功率半导体技术重点实验室为基础，于2006年7月经科技部批准组建，2008年10月通过科技部验收并正式开放运行。
实验室人才队伍情况
通过“外引内培”，目前实验室拥有一支包括院士2人、杰青6人、长江7人、“国家海外高层次人才引进计划”入选者 17人、“万人计划”领军2人、百千万人才工程6人、优青6人、青长4人、青拔4人、国家自然基金委创新群体3个、国防科技创新团队1个等在内的80人的高水平研究队伍。
实验室科研条件
目前，实验室场地面积达到20000m2，仪器设备数达到300余台（套），仪器设备总值达到2亿人民币以上。建有包括微细加工平台、电磁性能测试与微结构表征平台在内的开放共享平台。其中，微细加工平台具备可设计、可仿真、可加工、可成形、可评价的微细加工能力；电磁性能测试与微结构表征平台已通过CMA计量认证，具备材料的微观结构形貌、化学价态分析表征和器件的电磁性能测试等。国家集成电路产教融合创新平台正稳步建设中。
科研环境
|
|