珠海恒格微电子装备有限公司是一家专注等离子体工业应用设备研发、生产及销售的国家专精特新小巨人企业,总部位于珠海。
公司主要产品包括:PCB制造专用AI等离子蚀刻清洗设备,半导体深槽刻蚀设备,12吋晶圆级微波等离子去胶、表面处理设备等核心装备。其中,自主研发的行业首创“PTH在线等离子除胶处理系统”入选国家“工信部先进适用技术第一批名单”。
公司技术和研发实力雄厚,作为PCB行业等离子设备企业龙头,已牵头获批成立“中国电子工业标准化技术协会等离子应用技术专业委员会”,进一步推动行业标准化与技术创新。与电子科技大学携手创办“电子薄膜与集成器件全国重点实验室等离子装备与应用技术研究中心”。