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AI专用等离子蚀刻清洗设备
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PE16-2544
垂直等离子蚀刻清洗设备
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RTR等离子刻蚀清洗设备
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RTR
真空连续式等离子设备
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IC载板真空连续式等离子设备
微波等离子清洗除胶设备
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微波等离子
PTH在线等离子除胶系统处理系统
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PTH在线等离子除胶处理系统
12吋晶圆级微波等离子去胶、表面处理设备
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12吋
双腔体晶圆去胶机
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双腔体晶圆去胶机(1)
深槽刻蚀设备
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深槽刻蚀设备
耐腐蚀
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2
超洁净
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1-1
耐高温
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3
企业简介

珠海恒格微电子装备有限公司是一家专注等离子体工业应用设备研发、生产及销售的国家专精特新重点小巨人企业,总部位于珠海。

公司主要产品包括:PCB制造专用AI等离子蚀刻清洗设备,半导体深槽刻蚀设备,12吋晶圆级微波等离子去胶、表面处理设备等核心装备。其中,自主研发的行业首创“PTH在线等离子除胶处理系统”入选国家“工信部先进适用技术第一批名单”。

公司技术和研发实力雄厚,作为PCB行业等离子设备企业龙头,已牵头获批成立“中国电子工业标准化技术协会等离子应用技术专业委员会”,进一步推动行业标准化与技术创新。与电子科技大学携手创办“电子薄膜与集成器件全国重点实验室等离子装备与应用技术研究中心”。

98
%+
客户满意度
15
+
核心团队平均年资
100
+
专利数量
10
+
产品类型
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公司动态
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