AI专用等离子蚀刻清洗设备
型号：PE21-3052
智能监控并调整核心参数高
读取并动态调整设备运行
应用范围
- AI服务器类高厚径比(50:1)高多层板除孔胶，提高内层连接的可靠性，正凹蚀可控4-13um，TP值可控60%-80%
- 激光钻去碳灰，最小孔径可处理35um，提高孔连接的可靠性
- 高频板铁氟龙(PTFE)、碳黑、PI材料的改性，提高亲水性，减少孔空洞
- 载板超细线路干膜，油墨显影后去残膜
- 刚挠板除孔胶，改善软硬板材料咬蚀的一致性，提高孔壁质量
- 刚挠板压合前软板材料的粗化，提高压合结合力
- 贵金属前处理，去除表面油污
优势
咬蚀速率
0.05-0.1mg/min
高厚径比： TP值
60%-80%
除胶均匀性/温度均匀性
除胶均匀性：80%-90%
温度均匀性：90%-95%
