电子薄膜与集成器件国家重点实验室是以原教育部新型传感器重点实验室、信息产业部电子信息材料及应用重点实验室和功率半导体技术重点实验室为基础,于2006年7月经科技部批准组建,2008年10月通过科技部验收并正式开放运行。
通过“外引内培”,目前实验室拥有一支包括院士2人、杰青6人、长江7人、“国家海外高层次人才引进计划”入选者17人、“万人计划”领军2人、百千万人才工程6人、优青6人、青长4人、青拔4人、国家自然基金委创新群体3个、国防科技创新团队1个等在内的80人的高水平研究队伍。
经过数年的稳健发展,公司汇聚了一支高素质的研发团队,与电子科技大学“电子薄膜与集成器件国家重点实验室”携手创办“等离子装备与应用技术研究中心”,拥有国内外众多专利技术和核心竞争力,不断推动技术创新和产品迭代,以满足市场的多元化需求。