耐腐蚀
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型号：超强耐腐蚀类 Low Etch Rate
采用化学稳定性极高的金属化合物粉末作为填加物（如硫钡BaSO4 ，二氧化钛TiO2 ，陶瓷等）
应用范围
  • 适合AMAT,LAM,TEL,北方华创,中微等品牌刻蚀机广泛应用
优势
极好的耐等离子腐蚀性能
极好的耐等离子腐蚀性能
极好的耐等离子腐蚀性能