垂直等离子蚀刻清洗设备
型号：PE16-2544
主机尺寸：长1860mm / 宽1470mm / 高2100mm
重量：2550KG
电极数量：16片
型号：PE19-2544
主机尺寸：长1980mm / 宽1470mm / 高2100mm
重量：2700KG
电极数量：19片
型号：PE21-2544
主机尺寸：长2010mm / 宽1470mm / 高2100mm
重量：2800KG
电极数量：21片
型号：PE25A-2544
主机尺寸：长2275mm / 宽1670mm / 高2770mm
重量：3000KG
电极数量：25片
型号：PE16-3052
主机尺寸：长1895mm / 宽1668mm / 高2140mm
重量：2850KG
电极数量：16片
型号：PE19-3052
主机尺寸：长2100mm / 宽1730mm / 高2200mm
重量：3050KG
电极数量：19片
型号：PE21-3052
主机尺寸：长2220mm / 宽1765mm / 高2200mm
重量：3200KG
电极数量：21片
型号：PE25A-3052
主机尺寸：长2894mm / 宽1892mm / 高2892mm
重量：3500KG
电极数量：25片
应用范围
- 高频板铁氟龙(PTFE)材料的改性，提高亲水性，减少孔空洞
- 高Tg，高厚径比，高多层板除孔胶，提高内层连接的可靠性
- 载板超细线路干膜，油墨显影后去残膜，提高合格率
- 激光钻除碳灰，提高孔连接的可靠性
- 刚挠板除孔胶，改善软硬板材料咬蚀的一致性，提高孔壁质量
- 刚挠板压合前软板材料的粗化，提高压合结合力
- 贵金属前处理,去除表面油污,提高合格率
- BGA和金手指表面氧化去除和活化,提升金属溅镀/可焊性能
优势
咬蚀速率
0.04-0.08mg/min
高厚径比：TP值
50%-75%
除胶均匀性/温度均匀性
除胶均匀性：80%-85%
温度均匀性：85%-90%
主要特征
腔体采用航空铝合金,无缝焊接,真空泄露率小于10mt/min,可以更好保证咬蚀速率和均匀性
电极采用一体成形工艺(无缝焊接),独特进气、抽气方式,电离效果更好
电极升温效率提高20%,咬蚀均匀性好
同时可以选配电极恒温系统,升温时间可以降低50%
咬蚀速率较进口品牌速度快15-20%,较其他国产品牌快35-40%