超洁净
型号：超洁净 Ultra Clean
采用对制程无污染、且分子量极小的材质作为填加物（如：硅等）
应用范围
- 针对工艺制程苛刻的装备 ，比如Novellus Concept II Speed，LAM2300机台标准配置
优势
无固态生成物
无固态生成物
