金属刻蚀机
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型号:PMTE2000
占地面积:长110mm / 宽2200mm / 高2000mm

装片尺寸:标准8吋片、6吋片等

应用范围
  • 晶圆生产中的金属刻蚀
  • 适用于AI-SI-CU,Ti/TiN等工艺
  • 标准8吋片、6吋片金属刻蚀工艺
主要特征
  • Source+Bias RF系统设计

  • 可搭配多腔体传送平台

  • 刻蚀速率高,均匀度好

  • 刻蚀角度调整范围宽