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金属刻蚀机
PMTE2000
型号:PMTE2000
占地面积:长110mm / 宽2200mm / 高2000mm
装片尺寸:标准8吋片、6吋片等
应用范围
晶圆生产中的金属刻蚀
适用于AI-SI-CU,Ti/TiN等工艺
标准8吋片、6吋片金属刻蚀工艺
主要特征
Source+Bias RF系统设计
可搭配多腔体传送平台
刻蚀速率高,均匀度好
刻蚀角度调整范围宽